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PZT

Service de fabrication de couches minces piézoélectriques par pulvérisation cathodique

Le titano-zirconate de plomb (PZT) possède une constante piézoélectrique élevée. Sa couche mince pouvant être modelée avec finesse, elle est idéale pour les capteurs MEMS.

Haute fiabilité- qualité stable, grâce à une vaste expérience dans le domaine de la fabrication en grandes séries (1 000 000 par an).
Livraison rapide- Contactez-nous pour que nous nous parlions de votre planning.
Nous traitons également les petites séries- prototypage de tranches à l'unité.
Coût raisonnable- Contactez-nous pour une offre.

Caractéristiques techniquesMatériauCouche mince PZT (titano-zirconate de plomb)
Épaisseur de la couche PZT1-5μm
Permittivité relative εr1000*
Constante piézoélectrique d31160 pm/V*
Taille de tranche4・5・6・8 inch
TranchesTranche Si
Processus disponiblesPulvérisation cathodique PZT, pulvérisation cathodique des électrodes supérieure et inférieure, formation de motifs précis
InspectionÉpaisseur de coucheMesure de l'épaisseur de couche par microscope électronique à balayage (SEM)
OrientationInspection des axes avec analyse par diffraction des rayons X (XRD)
CompositionFluorescence X (XRF)

*La permittivité relative εr et la constante piézoélectrique d31 indiquées ci-dessus sont des valeurs types, pour une épaisseur de titano-zirconate de plomb (PZT) de 3μm après la polarisation.

Applications typiques

    • Accéléromètres
    • Têtes d'impression jet d'encre
    • Microphone MEMS
    • Micropompe
    • Gyro
    • MEMS RF
    • Capteur ultrasonore
    • Miroir MEMS
    • Récupérateur d'énergie

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