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PZT

Service de fabrication de couches minces piézoélectriques par pulvérisation cathodique

Le titano-zirconate de plomb (PZT) possède une constante piézoélectrique élevée. Sa couche mince pouvant être modelée avec finesse, elle est idéale pour les capteurs MEMS.

Haute fiabilité- qualité stable, grâce à une vaste expérience dans le domaine de la fabrication en grandes séries (1 000 000 par an).
Livraison rapide- Contactez-nous pour que nous nous parlions de votre planning.
Nous traitons également les petites séries- prototypage de tranches à l'unité.
Coût raisonnable- Contactez-nous pour une offre.

Caractéristiques techniques  Matériau Couche mince PZT (titano-zirconate de plomb)
Épaisseur de la couche PZT 1-5μm
Permittivité relative εr 1000*
Constante piézoélectrique d31 160 pm/V*
Taille de tranche 4・5・6・8 inch
Tranches Tranche Si
Processus disponibles Pulvérisation cathodique PZT, pulvérisation cathodique des électrodes supérieure et inférieure, formation de motifs précis
Inspection Épaisseur de couche Mesure de l'épaisseur de couche par microscope électronique à balayage (SEM)
Orientation Inspection des axes avec analyse par diffraction des rayons X (XRD)
Composition Fluorescence X (XRF)

*La permittivité relative εr et la constante piézoélectrique d31 indiquées ci-dessus sont des valeurs types, pour une épaisseur de titano-zirconate de plomb (PZT) de 3μm après la polarisation.

Applications typiques

    • Accéléromètres
    • Têtes d'impression jet d'encre
    • Microphone MEMS
    • Micropompe
    • Gyro
    • MEMS RF
    • Capteur ultrasonore
    • Miroir MEMS
    • Récupérateur d'énergie

 

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