PZT hat eine hohe piezoelektrische Konstante und seine dünne Schicht kann einem feinen Patterning unterzogen werden, wodurch es ideal für MEMS-Sensoren geeignet ist.
Hohe Zuverlässigkeit- Erfahrung in der Serienherstellung (1.000.000 jährlich) erbringt stabile Qualität. Schnelle Auslieferung- Bitte nehmen SieKontakt mit uns aufund teilen uns Ihren erwünschten Terminplan mit. Kleine Volumen willkommen- Einzelwafer-Prototyping verfügbar. Angemessene Kosten- Für einen Kostenvoranschlag nehmen Sie bitteKontakt mit uns auf.
Sputter-Spezifikation
Spezifikation
Material
PZT-Dünnschicht
PZT-Schichtstärke
1-5μｍ
Dielektrizitätskonstante εr
1000*
Piezoelectric Constant d31
160 pm/V*
Wafergröße
4・5・6・8 inch
Wafers
Si wafer
Verfügbare Prozesse
PZT-Sputtern, Sputtern der Unteren & Oberen Elektrode, Präzises Patterning
Inspektion
Schichtstärke
Schichtstärkenmessung durch SEM
Ausrichtung
Achseninspektion mit XRD
Zusammensetzung
XRF
*Die obige Dielektrizitätskonstante εr und piezoelektrische Konstante d31 sind typische Werte für eine 3μｍ dicke PZT nach der Polarisation
Typische Anwendungen
Beschleunigungsmesser
Tintenstrahlköpfe
MEMS-Mikrofon
Mikropumpe
Gyroskop
RF-MEMS
Ultraschallsensor
MEMS-Spiegel
Energy-Harvester
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