PZT hat eine hohe piezoelektrische Konstante und seine dünne Schicht kann einem feinen Patterning unterzogen werden, wodurch es ideal für MEMS-Sensoren geeignet ist.
Hohe Zuverlässigkeit - Erfahrung in der Serienherstellung (1.000.000 jährlich) erbringt stabile Qualität.
Schnelle Auslieferung - Bitte nehmen Sie Kontakt mit uns auf und teilen uns Ihren erwünschten Terminplan mit.
Kleine Volumen willkommen - Einzelwafer-Prototyping verfügbar.
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Spezifikation | Material | PZT-Dünnschicht |
PZT-Schichtstärke | 1-5μm | |
Dielektrizitätskonstante εr | 1000* | |
Piezoelectric Constant d31 | 160 pm/V* | |
Wafergröße | 4・5・6・8 inch | |
Wafers | Si wafer | |
Verfügbare Prozesse | PZT-Sputtern, Sputtern der Unteren & Oberen Elektrode, Präzises Patterning | |
Inspektion | Schichtstärke | Schichtstärkenmessung durch SEM |
Ausrichtung | Achseninspektion mit XRD | |
Zusammensetzung | XRF |
*Die obige Dielektrizitätskonstante εr und piezoelektrische Konstante d31 sind typische Werte für eine 3μm dicke PZT nach der Polarisation