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PZT

Piezoelektrischer Dünnschichtsputter-Service

PZT hat eine hohe piezoelektrische Konstante und seine dünne Schicht kann einem feinen Patterning unterzogen werden, wodurch es ideal für MEMS-Sensoren geeignet ist.

Hohe Zuverlässigkeit - Erfahrung in der Serienherstellung (1.000.000 jährlich) erbringt stabile Qualität.
Schnelle Auslieferung - Bitte nehmen Sie Kontakt mit uns auf und teilen uns Ihren erwünschten Terminplan mit.
Kleine Volumen willkommen - Einzelwafer-Prototyping verfügbar.
Angemessene Kosten - Für einen Kostenvoranschlag nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf.

Sputter-Spezifikation

Spezifikation Material PZT-Dünnschicht
PZT-Schichtstärke 1-5μm
Dielektrizitätskonstante εr 1000*
Piezoelectric Constant d31 160 pm/V*
Wafergröße 4・5・6・8 inch
Wafers Si wafer
Verfügbare Prozesse PZT-Sputtern, Sputtern der Unteren & Oberen Elektrode, Präzises Patterning
Inspektion Schichtstärke Schichtstärkenmessung durch SEM
Ausrichtung Achseninspektion mit XRD
Zusammensetzung XRF

*Die obige Dielektrizitätskonstante εr und piezoelektrische Konstante d31 sind typische Werte für eine 3μm dicke PZT nach der Polarisation

 Typische Anwendungen

  • Beschleunigungsmesser
  • Tintenstrahlköpfe
  • MEMS-Mikrofon
  • Mikropumpe
  • Gyroskop
  • RF-MEMS
  • Ultraschallsensor
  • MEMS-Spiegel
  • Energy-Harvester

 

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