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PZT
Piezoelektrischer Dünnschichtsputter-Service
PZT hat eine hohe piezoelektrische Konstante und seine dünne Schicht kann einem feinen Patterning unterzogen werden, wodurch es ideal für MEMS-Sensoren geeignet ist.
Hohe Zuverlässigkeit - Erfahrung in der Serienherstellung (1.000.000 jährlich) erbringt stabile Qualität.
Schnelle Auslieferung - Bitte nehmen Sie Kontakt mit uns auf und teilen uns Ihren erwünschten Terminplan mit.
Kleine Volumen willkommen - Einzelwafer-Prototyping verfügbar.
Angemessene Kosten - Für einen Kostenvoranschlag nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf.
Sputter-Spezifikation
| Spezifikation | Material | PZT-Dünnschicht |
| PZT-Schichtstärke | 1-5μｍ | |
| Dielektrizitätskonstante εr | 1000* | |
| Piezoelectric Constant d31 | 160 pm/V* | |
| Wafergröße | 4・5・6・8 inch | |
| Wafers | Si wafer | |
| Verfügbare Prozesse | PZT-Sputtern, Sputtern der Unteren & Oberen Elektrode, Präzises Patterning | |
| Inspektion | Schichtstärke | Schichtstärkenmessung durch SEM |
| Ausrichtung | Achseninspektion mit XRD | |
| Zusammensetzung | XRF | |
*Die obige Dielektrizitätskonstante εr und piezoelektrische Konstante d31 sind typische Werte für eine 3μｍ dicke PZT nach der Polarisation
Typische Anwendungen
- Beschleunigungsmesser
- Tintenstrahlköpfe
- MEMS-Mikrofon
- Mikropumpe
- Gyroskop
- RF-MEMS
- Ultraschallsensor
- MEMS-Spiegel
- Energy-Harvester