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Expérience Gyro MEMS

Depuis sa création en 1999, Silicon Sensing a livré près de 30 000 000 de gyromètres et d'accéléromètres MEMS inertiels haute performance, à des milliers de clients satisfaits. Ces capteurs de haute intégrité ont tous été conçus, développés et fabriqués chez Silicon Sensing.

La technologie développée pour ces capteurs a évolué. Grâce à une expérience basée sur trois générations de produits, Silicon Sensing a accru la capacité opérationnelle des processus mis en œuvre dans sa fonderie au Japon, mettant ainsi à la disposition de ses clients un large éventail de services.  Ces services sont récapitulés ci-dessous.

blog09

Photolithographie Gravure par plasma (ICP/SR, HRM) Soudage anodique (atmosphère)

blog09

Équipement de fabrication de couches minces piézoélectriques par pulvérisation cathodique Fraisage de fonte Équipement de rectification des tranches

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Alignement (bilatéral) Revêtement par pulvérisation Gravure par plasma (ICP/Pegasus)

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