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Erfahrung mit MEMS-Gyroskopen

Silicon Sensing hat annähernd 30.000.000 Hochleistungs-Inertial-MEMS-Gyroskope und Beschleunigungsmesser an Tausende zufriedener Kunden ausgeliefert, seit das Unternehmen 1999 gegründet wurde.  Diese hochintegrierten Sensoren sind alle im eigenen Haus von Silicon Sensing entworfen, entwickelt und hergestellt worden.

Die für diese Sensoren entwickelte Technologie hat sich weiterentwickelt und die Erfahrung von Silicon Sensing mit den drei Produktgenerationen hat den Rahmen der Prozessfähigkeit in der Gießerei in Japan erhöht, wodurch den Kunden ein größerer Bereich an verfügbaren Dienstleistungen angeboten werden kann.  Diese sind nachstehend zusammengefasst.

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Fotolithographie ICP-Ätzen (SR, HRM) Anodisches Schweißen (Atmosphäre)

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Piezoelektrische Dünnschichtsputter-Ausrüstung Eisenfräsen Wafer-Schleifausrüstung

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Ausrichtgerät (beide Seiten) Spritzbeschichter ICP-Ätzen (Pegasus)

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